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国家知识产权局信息数据显现,上海新微技能研制中心有限公司请求一项名为“一种改进非制冷红外探测器均匀性的办法及非制冷红外探测器”的专利,公开号CN121275157A,请求日期为2024年7月。
专利摘要显现,本发明供给一种改进非制冷红外探测器均匀性的办法,包含如下过程:供给一个待制造下电极的晶圆,在所述晶圆上顺次构成钛层和榜首氮化硅层,并对所述钛层以及榜首氮化硅层图形化;对图形化后的所述晶圆进行整理洗刷刻蚀处理,使钛层鸿沟缩短至榜首氮化硅层内;在所述榜首氮化硅层上构成第二氮化硅层,并刻蚀所述榜首氮化硅层以及第二氮化硅层以构成触摸孔,在所述第二氮化硅层外表以及所述触摸孔内堆积氧化钒层并对氧化钒层图形化。本办法经过将下电极金属钛层的鸿沟缩短至氮化硅层的鸿沟内构成微悬空的氮化硅结构,能够有很大作用防备氧化钒层与钛层的短接。因此能够在不引起红外探测器噪声反常的一起有用处理“小白点”问题。
天眼查资料显现,上海新微技能研制中心有限公司,成立于2013年,坐落上海市,是一家以从事计算机、通讯和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本144416万人民币。经过天眼查大数据分析,上海新微技能研制中心有限公司共对外出资了21家企业,参加招投标项目484次,产业线条,此外企业还具有行政许可46个。
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